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液氧
不燃,無色無味無臭氣體。用于焊接、不銹鋼制造、冶鐵,還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、煉結等。用作標準氣、平衡氣、零點氣等氣等。
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